ELEGRIP TAPE貼背研磨膠帶被用于在對(duì)晶圓的背面進(jìn)行研削(貼背研磨)時(shí),保護(hù)電路面以回避外界異物所造成的損傷,崩裂、裂紋(開(kāi)裂)以及臟污等的污染。隨著晶圓的大口徑化、薄型化以及高凸塊設(shè)計(jì)的開(kāi)發(fā),對(duì)膠帶所要求的主要特點(diǎn)為:①低污染、②對(duì)晶圓的追從性、③容易剝離這些方面。ELEGRIPTAPE滿足這些要求事項(xiàng),再加上由于它是非水溶性型,耐水環(huán)境,不需要進(jìn)行清洗。
特點(diǎn)
對(duì)電路面等凸凹的晶圓具有優(yōu)良的粘附性
防止塵埃的發(fā)生
對(duì)背面進(jìn)行研削時(shí),對(duì)水環(huán)境具有超群的研削精度(TTV)
具有優(yōu)良的易剝離性
抑制粘附力隨時(shí)間的變化